Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften Direkte Lasersynthese von Funktionsschichten

Hartstoffsysteme wie Titannitrid spielen im Bereich der Materialwissenschaften eine wichtige Rolle. Insbesondere der Verschleiss- und Korrosionsschutz basiert auf solchen Systemen. Neben den klassischen Verfahren wie PVD oder CVD, stellt das hier untersuchte Verfahren der direkten Lasersynthese in reaktiver Gasumgebung eine Alternative zur Herstellung solcher Schichten dar. Das Buch zeigt die erfolgreiche Synthese solcher Schichten mit Hilfe von FEL und Nd:YAG Laserbestrahlung und versucht einen Einblick in die ablaufenden physikalischen Prozesse zu geben. Mit Hilfe von FEM Rechnungen war es möglich, eine Quantifizierung der experimentell schwer zugänglichen Prozesse zu erhalten. Des Weiteren wurden umfangreiche Untersuchungen wie Härte- und Stickstoffprofilierung an den Schichten vorgenommen. So konnte mittels XRD - die mikroskopische Struktur der Schichten ermittelt und mit den Scanparametern korreliert werden. Mit Hilfe einer dimensionslosen Grösse wird der Prozess zu dem parametrisiert. Somit ergeben sich anwendungstechnisch grosse Potenziale. Abschliessend wurden allgemeine Bedingungen für die Herstellung solcher Schichten mit diesem Verfahren aufgestellt.